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發(fā)布時間:2024-07-28
平板顯示行業(yè)主要在顯示面板和觸控屏面板兩個產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節(jié)需要使用靶材濺射鍍膜,云南陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè),主要用于制作ITO玻璃及觸控屏電極,用量比較大的是氧化銦錫(ITO)靶材,其次還有鉬、鋁、硅等金屬靶材。1)平板顯示面板的生產(chǎn)工藝中,玻璃基板要經(jīng)過多次濺射鍍膜形成ITO 玻璃,然后再經(jīng)過鍍膜,加工組裝用于生產(chǎn)LCD 面板,云南陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)、PDP 面板及OLED 面板等;2)觸控屏的生產(chǎn)則還需將ITO 玻璃進(jìn)行加工處理、經(jīng)過鍍膜形成電極,云南陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè),再與防護(hù)屏等部件組裝加工而成。采用硅靶材濺鍍形成的二氧化硅膜則主要起增加玻璃與ITO 膜的附著力和平整性、表面鈍化和保護(hù)等作用,MoAlMo(鉬鋁鉬)靶材鍍膜后蝕刻主要起金屬引線搭橋的作用。此外,為了實現(xiàn)平板顯示產(chǎn)品的抗反射、消影等功能,還可以在鍍膜環(huán)節(jié)中增加相應(yīng)膜層的鍍膜。磁控濺射的工作原理簡單說就是利用磁場與電場交互作用。云南陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)
靶材主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極,晶體硅太陽能電池較少用到濺射靶材。太陽能電池主要包括晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池,晶體硅太陽能電池轉(zhuǎn)化效率較高、性能穩(wěn)定,且各個產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)比較成熟,占據(jù)了太陽能電池市場的主導(dǎo)地位。而晶體硅太陽能電池按照生產(chǎn)工藝不同可分為硅片涂覆型太陽能電池以及PVD工藝高轉(zhuǎn)化率硅片太陽能電池,其中硅片涂覆型太陽能電池的生產(chǎn)不使用濺射靶材,目前靶材主要用于太陽能薄膜電池領(lǐng)域。靶材濺射鍍膜形成的太陽能薄膜電池的背電級主要有三個用途:一,它是各單體電池的負(fù)極;二,它是各自電池串聯(lián)的導(dǎo)電通道;三,它可以增加太陽能電池對光的反射。太陽能薄膜電池用濺射靶材主要為方形板狀,對純度要求沒有半導(dǎo)體芯片用靶材要求高,一般在99.99%以上。目前制備太陽能電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等。其中鋁靶、銅靶用于導(dǎo)電層薄膜,鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜,ITO靶、AZO靶用于透明導(dǎo)電層薄膜。浙江光伏行業(yè)陶瓷靶材市場價如何制成良好的陶瓷靶材也是需要注意的地方。
AZO透明導(dǎo)電薄膜具有高可見光透過率和低電阻率的特點(diǎn),因此可以作為平面顯示器和太陽能平面電極材料,也可用在節(jié)能方面,如建筑玻璃表面和汽車玻璃表面近年來,隨著液晶顯示、觸控面板、有機(jī)發(fā)光顯示、太陽能電池等的發(fā)展,使得透明導(dǎo)電薄膜成為關(guān)鍵性材料之一。目前,常用的錫摻雜氧化鋼(ITO)透明導(dǎo)電薄膜材料中的金屬銦屬于稀缺資源,開發(fā)具有透光、導(dǎo)電特性的“非銦”材料已成為研究的熱點(diǎn)之一。由于氧化鋅基(ZnO)透明導(dǎo)電薄膜價格較為低廉,且不具毒性,在發(fā)展上具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)異性。因此,對于氧化鋅薄膜材料及其制備技術(shù)的研發(fā),引起了大家的重視。AZO薄膜是一種透明導(dǎo)電膜,具有與ITO薄膜相比擬的光學(xué)和電學(xué)特性,并具有制備工藝簡單、價格低、無毒和穩(wěn)定性好等特點(diǎn),被認(rèn)為是ITO薄膜的比較好替代材料。
ITO靶材生產(chǎn)過程包括金屬提純和靶材制造兩個主要環(huán)節(jié)。因高純金屬原料的品質(zhì)影響靶材的導(dǎo)電性能等性狀,對成膜的質(zhì)量有較大影響,且靶材種類繁多,客戶需求非標(biāo),定制屬性明顯。故而金屬提純環(huán)節(jié)技術(shù)壁壘及附加值均較高。其中銦屬于稀散金屬,因其具有可塑性、延展性、光滲透性和導(dǎo)電性等特點(diǎn),而以化合物、合金的形式被廣泛應(yīng)用。目前,銦的主要應(yīng)用領(lǐng)域是平板顯示領(lǐng)域,包括ITO靶材及新興的銦鎵鋅氧化物(IGZO)靶材,占全球銦消費(fèi)量的80%;其次是半導(dǎo)體領(lǐng)域、焊料和合金領(lǐng)域、太陽能發(fā)電領(lǐng)域等。生產(chǎn)ITO靶材對于銦的純度要求一般在4N5及以上,生產(chǎn)化合物半導(dǎo)體材料對于銦的純度要求則更高,一般在6N及以上。靶材的純度越高,薄膜的性能就越好。
氧化鋅(ZnO)屬于第三代半導(dǎo)體材料,室溫下禁帶寬度約為3.37eV,其激子束縛能高達(dá)60mev,比室溫?zé)犭x化能(26mev)大得多。第三代半導(dǎo)體材料是指寬禁帶半導(dǎo)體材料,它們的發(fā)光波長短(近紫外),具有耐高溫、抗輻照、制備方法多、毒性小等特點(diǎn)。自1997 年發(fā)現(xiàn)ZnO薄膜的室溫紫外光發(fā)射以來,ZnO薄膜的制備技術(shù)及其光電特性成為人們研究的熱點(diǎn)。ZnO薄膜可以在低于500C的溫度下生長,比ZnSe和GaN的生長溫度低得多。ZnO作為一種新型的光電材料在光波導(dǎo)、半導(dǎo)體紫外激光器、發(fā)光器件,透明電極等方面應(yīng)用大面積。Zno 也是一種十分有用的壓電薄膜材料,高質(zhì)量的單晶或c軸擇優(yōu)取向的多晶ZnO薄膜具有良好的壓電性質(zhì),能夠用來制備高頻纖維聲光器件及聲光調(diào)制器等壓電轉(zhuǎn)換器,在光電通信領(lǐng)域得到大面積的應(yīng)用。HJT電池靶材有望快速實現(xiàn)國產(chǎn)替代國產(chǎn)靶材廠商有望在HJT電池時代實現(xiàn)靶材上的彎道超車。陜西AZO陶瓷靶材市場價
陶瓷靶材的種類很多,應(yīng)用范圍廣,主要用于微電子領(lǐng)域,顯示器用,存儲等領(lǐng)域.云南陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)
光伏領(lǐng)域?qū)Π胁牡氖褂弥饕潜∧る姵睾虷JT光伏電池。以HJT電池片為例,在HJT電池片結(jié)構(gòu)中具有TCO薄膜層,該薄膜承擔(dān)著透光以及導(dǎo)電的重要作用。應(yīng)用PVD技術(shù),使離子和靶材表面的原子離開靶材,在基底上形成透明導(dǎo)電薄膜。以鈣鈦礦電池結(jié)構(gòu)為例,鈣鈦礦電池是由多層薄膜以及玻璃等構(gòu)成。例如ITO薄膜就需要光伏靶材進(jìn)行制備。薄膜較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等,ITO靶材是當(dāng)前太陽能電池主要的濺射靶材。薄膜電池中透明導(dǎo)電膜至關(guān)重要,承擔(dān)著透光和導(dǎo)電的雙重作用。從ITO靶材的優(yōu)勢來看,氧化銦錫(ITO)是N型半導(dǎo)體材料,具有高導(dǎo)電率、高可見光透過率、較強(qiáng)的機(jī)械硬度和良好的化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。因此,在光伏領(lǐng)域中,ITO靶材為原材料所制成的ITO薄膜具有較好的光學(xué)特性和電學(xué)特性。云南陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)
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