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1. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對(duì)DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時(shí),薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段增透效果。DLC涂層在模具上的應(yīng)用,沖壓成形模具:凸模、凹模、精密沖裁、壓印成形零件等。重慶注塑模具DLC鍍黑鈦
DLC涂層的主要性能1、力學(xué)性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達(dá)到甚至超過金剛石的DLC膜,用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達(dá)50GPa以上,而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達(dá)21GPa。膜層內(nèi)的成分對(duì)膜層的硬度有一定的影響,Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度。薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響薄膜性能的兩個(gè)重要因素,內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強(qiáng)度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)生裂紋、褶皺,甚至脫落,所以制備的DLC膜比較好具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強(qiáng)度。大部分研究表明,直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結(jié)合強(qiáng)度一般比較低,通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結(jié)合強(qiáng)度,在模具鋼上沉積DLC膜的結(jié)合強(qiáng)度達(dá)44N-74N,制備的膜導(dǎo)總體厚度可達(dá)5um。?河北醫(yī)療器械DLC加工DLC涂層在模具上的應(yīng)用,半導(dǎo)體模具:引腳成形模具的刀口件、封裝模具的成形鑲件和鑲塊等。
DLC涂層簡介
DLC涂層在在刀具上的應(yīng)用,采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命,使刀具獲得優(yōu)良的綜合機(jī)械性能,從而大幅度提高機(jī)械加工效率。DLC涂層是工業(yè)領(lǐng)域常用涂層之一,是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時(shí)又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的涂層物質(zhì)。
類金剛石(DLC)涂層是一種非晶態(tài)薄膜,具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性,因此通常作為耐磨涂層使用。
DLC涂層可以使用各種薄膜沉積技術(shù)生產(chǎn),包括物物物理相沉積 (PVD) ,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) ,離子束輔助沉積 (IBAD) ,陰極電弧沉積 (CAD) 和脈沖激光沉積 (PLD) 。所有這些過程的共同點(diǎn)是真空環(huán)境,其中高能預(yù)處理碳原子在與基板表面接觸時(shí)會(huì)迅速冷卻。
1. 為避免刀具過熱發(fā)生變形影響加工精度和延長其使用壽命,通常使用切削液。要解決減少或免除切削液帶來的問題,刀具鍍層不僅應(yīng)使刀具具有長壽命,且應(yīng)有自潤滑的功能。類金剛石涂層DLC的出現(xiàn)在對(duì)某些材料的機(jī)械加工方面顯示出優(yōu)勢,但經(jīng)過多年的研究表明類金剛石涂層DLC的內(nèi)應(yīng)力高、熱穩(wěn)定性差和與黑色金屬間的觸媒效應(yīng)使SP3結(jié)構(gòu)向SP2轉(zhuǎn)變等三種缺點(diǎn),決定了它目前只能應(yīng)用于加工有色金屬,因而限制了它在機(jī)加工方面的進(jìn)一步應(yīng)用。DLC涂層在醫(yī)療器械的應(yīng)用,以DLC涂層具有很好的生物相容性,它對(duì)蛋白質(zhì)的吸附率高,對(duì)血小板的吸附率低。
按輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon涂層完全按照輪胎模具涂層的工藝噴涂,含氫DLC、無氫DLC涂層分別采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積和電弧離子鍍沉積。
對(duì)含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的結(jié)構(gòu)、成分和表面形貌進(jìn)行了分析和比較。三種涂層具有不同的粗糙度、斷面結(jié)構(gòu)、元素組成,而不同成分、結(jié)構(gòu)會(huì)對(duì)涂層的表面性能造成不同的影響,因此對(duì)三種涂層的結(jié)構(gòu)、成分進(jìn)行表征,為涂層表面性能的改進(jìn)提供理論依據(jù)。結(jié)果表明,兩種DLC涂層粗糙度均小于Teflon涂層的粗糙度,三種涂層結(jié)構(gòu)均勻致密,無明顯沉積裂紋產(chǎn)生。
對(duì)含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的表面性能進(jìn)行測量與比較。對(duì)三種涂層的疏水性、納米硬度、彈性模量和結(jié)合強(qiáng)度進(jìn)行測量,分析三種涂層性能的優(yōu)劣并對(duì)DLC涂層在輪胎模具上的應(yīng)用性進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果表明,DLC涂層在粗糙度較小的情下,疏水性能低于Teflon涂層。但增加DLC涂層的粗糙度,疏水性能也較為增加,當(dāng)涂層粗糙度為754nm時(shí)水接觸角達(dá)到比較大96o。無氫DLC、含氫DLC涂層硬度、結(jié)合強(qiáng)度均大于Teflon涂層。通過對(duì)DLC、Teflon涂層結(jié)構(gòu)、成分、表面形貌和主要表面性能的對(duì)比研究可以得出:DLC涂層疏水性、硬度、結(jié)合強(qiáng)度均可滿足輪胎模具的使用要求,DLC涂層可以應(yīng)用于輪胎模具。 在以非燃油為燃料的新能源汽車發(fā)動(dòng)機(jī)中,DLC的活塞環(huán)可在無潤滑油的干摩擦下起到好的潤滑和耐磨減磨作用。舟山醫(yī)療器械DLC產(chǎn)品介紹
DLC涂層在模具上的應(yīng)用,其他零部件:軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動(dòng)滾輪等。重慶注塑模具DLC鍍黑鈦
目的比較分析CrN過渡層與不同膜厚對(duì)DLC薄膜性能的影響,以及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復(fù)合膜,預(yù)設(shè)Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5~1.2μm。采用無損設(shè)備對(duì)不同沉積時(shí)間(10、15、20、1.
以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進(jìn)行污水處理時(shí),具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果,這是由于DLC具有更寬的電勢窗口和更低的背景電流.此外,DLC還具有耐酸、耐腐蝕以及低吸附特性等特點(diǎn),不會(huì)在酸性、腐蝕性的污水中破損,因此比其他的電極更適合在污水中長時(shí)間工作.為此,對(duì)DLC的制備、DLC電極電化學(xué)性能的影響參數(shù),以及DLC在污水處理中應(yīng)用的研究成果進(jìn)行了綜述總結(jié). 重慶注塑模具DLC鍍黑鈦
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