真空不達(dá)到的原因:1、真空泵沒(méi)啟動(dòng)。首先檢查真空泵是否通電;然后找到真空泵的真空油位觀察窗,觀察是否還有真空油,如果沒(méi)有真空油就需要在真空泵停止時(shí)往里面加熱真空油;看真空泵的按鈕開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)。2、門(mén)密封不嚴(yán)漏氣。真空干燥箱的門(mén)密封硅膠條因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間使用后導(dǎo)致老化,它無(wú)法和外玻璃門(mén)壓緊產(chǎn)生了縫隙,出現(xiàn)此故障只能聯(lián)系廠家購(gòu)買(mǎi)同類(lèi)型號(hào)的密封條然后換上即可。3、真空箱焊接處漏氣。關(guān)閉真空箱門(mén),打開(kāi)真空泵讓其抽真空,然后用礦泉水瓶裝肥皂水在真空干燥箱的焊接處擠上肥皂泡,觀察肥皂泡是否有被吸到真空箱的內(nèi)腔體里面。如果有,就采用氬弧焊的方式焊接此處。4、真空表故障。真空表不適合自行維修,建議直接更換同類(lèi)型號(hào)的壓力表。5、軟管、接頭處對(duì)接漏氣。同3條一樣,采用肥皂水來(lái)找到具體的漏氣點(diǎn),如果是軟管問(wèn)題就直接跟換,如果是軟管你和金屬接頭對(duì)接處漏氣,可以采用金屬抱箍卡進(jìn)軟管和金屬接頭處即可。不銹鋼腔體設(shè)計(jì)精美,不僅實(shí)用,更添科研風(fēng)采。四川鋁合金真空腔體加工價(jià)格
真空腔體檢修過(guò)程中的要求:真空腔體工作時(shí)間久了,總會(huì)出現(xiàn)點(diǎn)問(wèn)題,因此它在操作過(guò)程中需注意的問(wèn)題有很多。同時(shí),還需要定期對(duì)其進(jìn)行檢修,檢修過(guò)程中應(yīng)滿足以下要求:一、要定期檢查下攬拌軸的擺動(dòng)里,如果發(fā)現(xiàn)擺動(dòng)里較大,應(yīng)及時(shí)拆開(kāi)按照結(jié)構(gòu)圖拆換軸承及軸套。它所采用復(fù)合軸套或石墨軸套設(shè)計(jì)壽命為1—2年。為保障設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn),廠家建議每年拆換1次。二、拆卸以前應(yīng)排盡真空腔體內(nèi)的反應(yīng)物料,并用對(duì)人無(wú)害的氣波介質(zhì)清洗干凈。三、高溫高轉(zhuǎn)速磁力攬拌器上部留有注油孔,是在停車(chē)時(shí)為軸承注入油脂設(shè)置的。只有待設(shè)備內(nèi)卸去壓力后才能使用,每次加入30—50CC。四、檢修真空腔體時(shí),則不需打開(kāi)釜蓋,只要松開(kāi)與釜蓋聯(lián)接的螺母。拆卸時(shí)應(yīng)盡里避免鐵及磁性材料等雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)外磁鋼的間隙。并保障內(nèi)外磷鋼與密封罩的同心度。安裝時(shí)將螺栓均勻?qū)ΨQ(chēng)地上緊螺栓,且分2—3次擴(kuò)緊,以免螺栓上偏,損壞密封墊片影響密封效果;貴陽(yáng)鋁合金真空腔體價(jià)格暢橋真空腔體設(shè)計(jì)人性化,操作簡(jiǎn)便,提升用戶(hù)體驗(yàn)。
腔體是半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件,主要用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備中。腔體通常由高純度、耐腐蝕的材料制成,主要為不銹鋼和鋁合金。腔體為晶圓生產(chǎn)提供耐腐蝕、潔凈和高真空環(huán)境,用于承載并控制芯片制造過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)過(guò)程,主要應(yīng)用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備,也少量用于離子注入、高溫?cái)U(kuò)散等設(shè)備。腔體所需重要技術(shù)為高精密多工位復(fù)雜型面制造技術(shù)和表面處理特種工藝技術(shù),以保證反應(yīng)過(guò)程中腔體的真空環(huán)境、潔凈程度和耐腐蝕性能。
不銹鋼真空腔體功能劃分集中,主要為生長(zhǎng)區(qū),傳樣測(cè)量區(qū),抽氣區(qū)三個(gè)部分。對(duì)于分子束外延生長(zhǎng)腔,重要的參數(shù)是其中心點(diǎn)A的位置,即樣品在生長(zhǎng)過(guò)中所處的位置。所以蒸發(fā)源,高能電子衍射(RHEED)元件,高能電子衍射屏,晶體振蕩器,生長(zhǎng)擋板,CCD,生長(zhǎng)觀察視窗的法蘭口均對(duì)準(zhǔn)中心點(diǎn)。蒸發(fā)源:由鎢絲加熱盛放生長(zhǎng)物質(zhì)的堆塌,通過(guò)熱偶絲測(cè)量溫度,堆鍋中的物質(zhì)被加熱蒸發(fā)出來(lái),在處于不銹鋼真空腔體中心點(diǎn)的襯底上外延形成薄膜。每個(gè)蒸發(fā)源都有其各自的蒸發(fā)源擋板控制源的開(kāi)閉,可以長(zhǎng)出多成分或成分連續(xù)變化的薄膜樣品。我們擁有專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì),為您提供專(zhuān)業(yè)的產(chǎn)品推薦和解決方案。
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真空腔體的使用方法介紹:1、將反應(yīng)物倒入襯套內(nèi),真空腔體并保障加料系數(shù)小于0.8。2、保障釜體下墊片位置正確(凸起面向下),然后放入襯套和上墊片,先擰緊釜蓋混合設(shè)備,然后用螺桿把釜蓋旋扭擰緊為止。3、將設(shè)備置于加熱器內(nèi),按照規(guī)定的升溫速率升溫至所需反應(yīng)溫度。(小于規(guī)定的使用溫度)。4、當(dāng)確認(rèn)內(nèi)部溫度低于反應(yīng)物系種溶劑沸點(diǎn)后方能開(kāi)釜蓋進(jìn)行后續(xù)操作。真空腔體待反應(yīng)結(jié)束將其降溫時(shí),也要嚴(yán)格按照規(guī)定的降溫速率操作,以利于設(shè)備的使用壽命。5、確認(rèn)內(nèi)部溫度低于反應(yīng)物系種溶劑沸點(diǎn)后,先用螺桿把釜蓋旋扭松開(kāi),然后將釜蓋打開(kāi)。6、真空腔體每次使用后要及時(shí)將其清洗干凈,以免銹蝕。釜體、釜蓋線密封處要格外注意清洗干凈,避免將其碰傷損壞;四川鋁合金真空腔體加工價(jià)格