潔凈室因其用途、氣流流型的不同，可分為各種不同冠名的潔凈室。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對象的潔凈室，通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)、精密機械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝、精細(xì)化工、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于9.8Pa。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。上海排風(fēng)柜檢測優(yōu)化價格

B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量?？諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進(jìn)人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進(jìn)行?？諝鈽颖局械乃辛Ｗ泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒子的空氣動力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。江蘇口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測服務(wù)至上使用激光塵埃粒子計數(shù)器可以精確測量空氣中的微粒濃度。

B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器（DPC）測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同，不同點只有一處，由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù)，因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣；計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m；離散粒子計數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中，計數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動力采樣。在非單向流區(qū)域，離散粒子計數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上，采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計數(shù)器的粒徑范圍，使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度，應(yīng)保留一個低于5μm（見GB/T25915.1-2010中表1）的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中，濃度之和不應(yīng)超過所用粒子計數(shù)器比較大濃度建議值的50%。

B.2.1.3粒徑限制器為獲得測量或驗證U描述符所需的計數(shù)效率特性，可在計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計數(shù)器（DPC)或凝聚核計數(shù)器的采樣管上，安裝一個粒徑限制器。改動后，計數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子，以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限制器多種多樣，其大小和配置各異，只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴散元件和虛擬撞擊器。透過率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此，使用粒徑限制器時要小心，它們只能用于規(guī)定的流量，安裝時要防靜電累積。為了減少電荷累積，粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。檢測為送回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流設(shè)計時要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。

潔凈室竣工驗收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機、凈化空調(diào)機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。安裝驗證和操作驗證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗證。江蘇排風(fēng)柜檢測

它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求，而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細(xì)菌濃度等均有較高的要求。上海排風(fēng)柜檢測優(yōu)化價格

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。上海排風(fēng)柜檢測優(yōu)化價格