氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題？1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低，一是由于所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準(zhǔn)漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí)，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住，再對另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí)，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度。紹興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀機(jī)械泵故障及處理：1、機(jī)械泵不動作，檢查項(xiàng)目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機(jī)械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦檢儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進(jìn)行定位，交由維修處理。無錫臺式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高，可精確定位。

氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應(yīng)時(shí)間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；4、能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；5、穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；8、檢漏時(shí)潔凈無油，滿足一些特殊的要求。

氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致，需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計(jì)算，并在測試結(jié)果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值；方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。重慶氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)商家

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。紹興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？穩(wěn)定時(shí)間對檢測的影響，在充氣的時(shí)候，壓縮空氣會因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個(gè)密閉容器后，引起一系列的熱力學(xué)-動力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會發(fā)生降低，若此時(shí)進(jìn)行測量，則這種壓力的變化會被視作一個(gè)由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測試容積增加時(shí)，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個(gè)問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時(shí)間來消除這種影響。紹興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

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