氦檢儀在真空度校驗中有什么應用？氦是一種惰性氣體，不會對設備產生腐蝕，不與真空器件起化學反應，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。對容器環(huán)境和質譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會發(fā)出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質譜檢測泄漏技術是真空檢測領域中不可缺少的一項技術，由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應靈敏、準確度高、不受其它氣體干擾等特點，在電阻爐檢測泄漏中被普遍應用。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。常州真空氦質譜檢漏儀工作原理

氦檢儀開機如何操作？1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規(guī)開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節(jié)流閥。常州真空氦質譜檢漏儀工作原理氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。

氦質譜檢漏儀是根據質譜儀學原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風間距。放置好氦質譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。

氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應信號，而對其他氣體沒有反應，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現信號，就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因為氦質量輕，易于穿過漏孔，擴散快，對分析設備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經降得很低，因此氦質譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、氦質譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規(guī)等。氦質譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？無錫小型氦質譜檢漏儀廠家推薦

氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。常州真空氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。常州真空氦質譜檢漏儀工作原理