氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。江蘇多功能氦質(zhì)譜檢漏儀價格氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點：1、性價比高：便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域，競爭性的價格及較低的使用成本，大抽速前級泵的設(shè)計，可縮短抽氣時間，提高使用效率；2、自我保護功能：在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護功能，系統(tǒng)的逆擴散設(shè)計保護了質(zhì)譜室的清潔、真空，且不需要液氮；3、結(jié)構(gòu)靈活：可采用主機與前級泵單獨采買，前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。
氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個就是本底噪聲。實際上，目前通過對電子線路的改進，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān)，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。氦檢儀本底漏率值是什么？
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養(yǎng)維護。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會上升，氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時，說明有泄漏。這個漏率稱為總漏率?？偮┞蕿楦鱾€分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個點的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對超過標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進行修補，直至達到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊