氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。江蘇多功能氦質(zhì)譜檢漏儀報價

氦檢儀中沒有手動閥，現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運轉(zhuǎn)時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵,以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不只解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻(xiàn)。金華全自動氦質(zhì)譜檢漏儀定制氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟：1、調(diào)氦峰方法：開漏孔開關(guān)，單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”，使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個Zda值，然后關(guān)漏孔開關(guān)，如表頭指示值變小，說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號，即找到氦峰；如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續(xù)調(diào)“V”，直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調(diào)氦峰分辨不好：①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調(diào)氦峰信號小：①燈絲沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠(yuǎn)。③分辨不好。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。杭州無損氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

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在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時，必須考慮其特性和真空測量的特性：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短，且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應(yīng)，因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應(yīng)，這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體（如氬）一起抽空時尤為明顯。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。當(dāng)烴類存在時，電離真空計受到有機分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應(yīng)一樣，讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關(guān)點，以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染。強磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于電離真空計而言。為能夠產(chǎn)生超高真空，必須對真空設(shè)備，包括真空計進(jìn)行烘烤。必須遵守技術(shù)要求中規(guī)定的蕞大烘烤溫度和條件。江蘇多功能氦質(zhì)譜檢漏儀報價