在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場應(yīng)用。金華自動氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠，機(jī)械泵油必須用特定的針對機(jī)械泵型號的油。金華自動氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家氦檢儀的撿漏方法有哪些？

任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系，但是汽車管路作為汽車轉(zhuǎn)配中的重要零部件，關(guān)系著車輛和乘員的安全。良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要!傳統(tǒng)的檢漏方法：如加壓水檢法、壓差法、鹵素檢漏法，在檢漏速度、精度及環(huán)保性能上都有一定程度的缺陷，而氦檢漏技術(shù)，是集真空技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)及質(zhì)譜技術(shù)為一體的應(yīng)用技術(shù)，為汽車空調(diào)兩器及管路提供專業(yè)的檢漏方案。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場應(yīng)用，氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進(jìn)入氦檢儀的質(zhì)譜室中，使氦檢儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來，達(dá)到了檢漏的目的。此款氦檢儀堅(jiān)固耐用，抗震性能極強(qiáng)，可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。

氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng)：1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標(biāo)識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強(qiáng)行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。杭州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢

氦檢儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。金華自動氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。金華自動氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家