選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問(wèn)題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。氦檢儀能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。湖州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法：1、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間及其測(cè)定，反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間，記為τR。消除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。湖州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。

隨著汽車工業(yè)的快速發(fā)展，汽車空調(diào)工業(yè)對(duì)使用氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀進(jìn)行氦檢的需求越來(lái)越大，對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀的氦檢性能指標(biāo)的要求也越來(lái)越高。針對(duì)汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)、儲(chǔ)液罐和管路等零部件的檢漏要求和特點(diǎn)，上海睿德勵(lì)柯儀器儀表有限公司做了如下設(shè)計(jì)：獨(dú)特的氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀氣路設(shè)計(jì)，提高了對(duì)氦的抽速，縮短了清氦本底時(shí)間，有效防止氦污染。氦檢儀是一種對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是電離進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分子，轟擊靶心，放大，通過(guò)電流分析氦分子的數(shù)量！進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分子比例（分離比），電氣參數(shù)不同，電流相同，泄漏率可能不同；或泄漏率不同，電流相同；所有泄漏檢測(cè)儀本身不知道放大電流對(duì)應(yīng)的泄漏率，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀檢漏口配置：定制精密過(guò)濾設(shè)備，能有效防止雜物顆?；蜚~粉進(jìn)入儀器。多模式功能輸入、導(dǎo)出，便于連接各種自動(dòng)化機(jī)械。機(jī)械與電路有效分離，避免溫度、磁場(chǎng)等相互影響，使檢漏儀運(yùn)行更加平穩(wěn)可靠。蕞小可測(cè)漏率低，靈敏度高，檢驗(yàn)量程達(dá)到12級(jí)。降低成本。氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理：一、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見(jiàn)機(jī)械泵說(shuō)明書。二、清洗，泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險(xiǎn)管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？南通模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。湖州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見(jiàn)的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測(cè)準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問(wèn)題。湖州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀