在半導(dǎo)體芯片的研發(fā)與制造過程中，無塵實(shí)驗(yàn)室是不可或缺的重要基礎(chǔ)設(shè)施。芯片制程精度已達(dá)到納米級別，空氣中的微塵顆粒若附著在晶圓表面，可能導(dǎo)致電路短路、元件失效等致命問題。以 7 納米制程芯片為例，其晶體管結(jié)構(gòu)高度只相當(dāng)于人類頭發(fā)絲的萬分之一，一粒直徑 1 微米的塵埃即可破壞數(shù)十個晶體管單元。無塵實(shí)驗(yàn)室通過三級過濾系統(tǒng) —— 初效過濾去除大顆粒塵埃，中效過濾攔截 5 微米以下顆粒，高效過濾器（HEPA）捕捉 0.3 微米以上微塵，將空氣中的塵埃粒子濃度控制在每立方米 3520 個以下（ISO 5 級標(biāo)準(zhǔn)）。同時，實(shí)驗(yàn)室采用垂直層流送風(fēng)技術(shù)，使氣流以 0.3-0.5 米 / 秒的速度向下均勻流動，形成 “空氣幕” 效應(yīng)，確保晶圓在沉積、蝕刻、摻雜等關(guān)鍵工藝中不受污染。這種良好潔凈的環(huán)境，保障了芯片的良率（可提升至 95% 以上），更推動了 5G 芯片、人工智能芯片等前沿技術(shù)的突破。初、中、高效過濾器層層把關(guān)，凈化空氣，打造一塵不染的實(shí)驗(yàn)空間。杭州工廠實(shí)驗(yàn)室

    潔凈實(shí)驗(yàn)室根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，通常需要多種氣體供應(yīng)系統(tǒng)，如壓縮空氣、氮?dú)?、氧氣、氫氣等。不同氣體的性質(zhì)和用途各異，其供應(yīng)系統(tǒng)的設(shè)計也有不同要求。壓縮空氣系統(tǒng)是較為常見的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，主要用于驅(qū)動實(shí)驗(yàn)設(shè)備的氣動元件、提供清潔氣源等。壓縮空氣的質(zhì)量至關(guān)重要，需要經(jīng)過多級過濾和干燥處理，去除其中的塵埃粒子、水分和油分等雜質(zhì)，以滿足實(shí)驗(yàn)對氣源潔凈度的要求。氮?dú)庠谝恍?shí)驗(yàn)中用于保護(hù)氣、吹掃氣等，其供應(yīng)系統(tǒng)一般采用液氮儲罐或制氮機(jī)。液氮儲罐儲存液氮，通過氣化裝置將液氮轉(zhuǎn)化為氣態(tài)氮供實(shí)驗(yàn)室使用；制氮機(jī)則利用變壓吸附等技術(shù)從空氣中制取氮?dú)?。氧氣供?yīng)系統(tǒng)在醫(yī)療、化工等實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用多，一般采用氧氣瓶組或集中供氧系統(tǒng)。對于氫氣等易燃易爆氣體，其供應(yīng)系統(tǒng)的設(shè)計要更加嚴(yán)格，需遵循相關(guān)安全規(guī)范，采用專門的防爆設(shè)備和管道，設(shè)置泄漏報警裝置，確保使用安全。在氣體供應(yīng)系統(tǒng)的管道設(shè)計方面，要根據(jù)氣體流量、壓力要求選擇合適的管徑和管材，保證氣體輸送過程中的壓力穩(wěn)定、無泄漏。同時，不同氣體的管道應(yīng)采用不同顏色標(biāo)識，便于區(qū)分和維護(hù)。宜昌食品無菌潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修時長斷橋鋁門窗搭配雙層玻璃，隔絕外界污染，保持室內(nèi)潔凈。

    無塵實(shí)驗(yàn)室的裝修材料選擇直接關(guān)系到其潔凈度和運(yùn)行維護(hù)成本。墻面和天花板材料除具備良好密封性和保溫性能外，還應(yīng)光滑平整、無孔隙，不易積塵和滋生微生物。彩鋼板夾芯材料有巖棉、聚氨酯等多種選擇，巖棉夾芯板防火性能優(yōu)，聚氨酯夾芯板保溫性能好，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)室具體需求選用。地面材料除防靜電、耐磨、易清潔外，還應(yīng)有一定彈性，減輕人員長時間站立疲勞。橡膠地板和 PVC 地板是常見選擇，它們防滑性能和耐化學(xué)腐蝕性良好。門窗材料要選用密封性好、開啟靈活的產(chǎn)品，如鋁合金門窗搭配密封膠條，既能保證隔熱隔音效果，又能有效阻擋灰塵進(jìn)入。

    實(shí)驗(yàn)廢棄物處理：潔凈實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生的實(shí)驗(yàn)廢棄物具有特殊性，需要進(jìn)行妥善的處理，以防止對環(huán)境和人員造成危害。實(shí)驗(yàn)廢棄物分為生物廢棄物、化學(xué)廢棄物和放射性廢棄物等類別。生物廢棄物，如含有病原體的實(shí)驗(yàn)樣本、廢棄培養(yǎng)基等，需經(jīng)過高壓蒸汽滅菌或化學(xué)消毒處理后，按照醫(yī)療廢物進(jìn)行處置?；瘜W(xué)廢棄物，根據(jù)其性質(zhì)分為有機(jī)廢棄物、無機(jī)廢棄物、酸堿廢棄物等，要進(jìn)行分類收集，采用專門的容器儲存，并交由有資質(zhì)的環(huán)保企業(yè)進(jìn)行處理。傳遞窗內(nèi)置紫外線殺菌，在傳遞物料時，切斷交叉污染的傳播路徑。

    潔凈實(shí)驗(yàn)室，亦稱為無塵室或清凈室，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而特別設(shè)計的房間。其重要目的在于創(chuàng)建一個高度受控的環(huán)境，以滿足對環(huán)境潔凈度要求嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)活動。例如，在半導(dǎo)體芯片制造中，微小塵埃顆?？赡軐?dǎo)致芯片短路等嚴(yán)重問題，此時潔凈實(shí)驗(yàn)室的超潔凈環(huán)境就成為生產(chǎn)高質(zhì)量芯片的必要保障。在醫(yī)療領(lǐng)域，進(jìn)行細(xì)胞培養(yǎng)、微生物檢測等實(shí)驗(yàn)時，防止外界微生物污染實(shí)驗(yàn)樣本至關(guān)重要，潔凈實(shí)驗(yàn)室便能提供這樣一個近乎無菌的空間。定期對實(shí)驗(yàn)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。杭州工廠實(shí)驗(yàn)室

高效過濾器單元（HEPA）持續(xù)過濾空氣，使無塵實(shí)驗(yàn)室潔凈度達(dá) ISO 5 級標(biāo)準(zhǔn)以上。杭州工廠實(shí)驗(yàn)室

    消防與安全是潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)和運(yùn)行中不容忽視的重要方面。在消防設(shè)計上，要根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的火災(zāi)危險性類別，合理設(shè)置消防設(shè)施。采用防火分隔將不同功能區(qū)域分開，防火墻和防火門的耐火極限要符合相關(guān)規(guī)范要求。配備自動噴水滅火系統(tǒng)、火災(zāi)自動報警系統(tǒng)和滅火器等消防設(shè)備。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室空間相對封閉，通風(fēng)系統(tǒng)在火災(zāi)發(fā)生時要能迅速切換為排煙模式，排出煙霧和有害氣體。在安全方面，設(shè)置緊急疏散通道和安全出口，保證人員在緊急情況下能迅速撤離。對實(shí)驗(yàn)過程中可能產(chǎn)生的有毒有害氣體、化學(xué)試劑泄漏等風(fēng)險，要配備相應(yīng)的監(jiān)測和防護(hù)設(shè)備，如氣體泄漏報警器、通風(fēng)柜等，保障人員生命安全和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境安全。杭州工廠實(shí)驗(yàn)室