潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無(wú)塵等級(jí)的要求比較高，因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn)，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn)，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。潔凈室檢測(cè)不僅是當(dāng)前生產(chǎn)的需要，也是對(duì)未來(lái)產(chǎn)品質(zhì)量的投資。河北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好

1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室，那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室，則要測(cè)量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確，也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng)，必須檢測(cè)：2.1各區(qū)間的壓差正確；2.2門(mén)口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確，即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。3.過(guò)濾器檢漏對(duì)高效過(guò)濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn)，以保證懸浮污染物不會(huì)穿過(guò)：3.1損壞了的過(guò)濾器；3.2過(guò)濾器與其外框間的縫隙；3.3過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項(xiàng)測(cè)試是為了證明懸浮污染物不穿過(guò)建筑材料侵入潔凈室。安徽電子廠房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。

（七）室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器，設(shè)備測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對(duì)有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個(gè)場(chǎng)所分別測(cè)定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級(jí)應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下，非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA；單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA；潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過(guò)程及判定（1）測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)一般只測(cè)A聲級(jí)的數(shù)值。必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。（2）潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣，除房間兩對(duì)角線相交的室中心位置外，另在房間四角對(duì)角線上對(duì)稱的選取4點(diǎn)。（3）執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期。（4）被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。（5）被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑或沉降菌、浮游菌、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測(cè)潔凈室的溫濕度、噪聲。（6）測(cè)試用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定征書(shū)測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況.（7）測(cè)試結(jié)果包括在采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。（8）對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。

在單向流潔凈室內(nèi)，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以，前聯(lián)邦德國(guó)有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞，沿著房間這個(gè)“氣缸”，向前（下）推進(jìn)，而使塵粒只能前（下）進(jìn)，沒(méi)有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。溫濕度波動(dòng)范圍的控制對(duì)于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。

壓差檢測(cè)要求：(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門(mén)全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測(cè)到直通室外的房間。(3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可，測(cè)管口面與氣流流線平行。(4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測(cè)步驟：(1)先關(guān)閉所有的門(mén)。(2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差，不應(yīng)小于10Pa。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí)，門(mén)內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。潔凈室檢測(cè)中發(fā)現(xiàn)的改進(jìn)機(jī)會(huì)應(yīng)納入持續(xù)改進(jìn)計(jì)劃中。山東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)值得推薦

其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。河北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好

14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時(shí)，應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置，宜集的的中布置發(fā)聲設(shè)備。14.2.2潔凈室（區(qū)）內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)規(guī)定的設(shè)備，應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素，采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能。14.2.3凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動(dòng)力設(shè)備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施?？照{(diào)機(jī)房、動(dòng)力站房宜采取下列措施。河北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好