晶圓切割是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序，在晶圓制造中屬后道工序。將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片，稱之為晶圓劃片。激光作為新型的加工方式之一，屬于無接觸式加工，不對晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用，對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點，聚焦點可小到亞微米數(shù)量級，從而對晶圓的微處理更具優(yōu)越性，可以進(jìn)行小部件的加工；即使在不高的脈沖能量水平下，也能得到較高的能量密度，有效地進(jìn)行材料加工。選擇超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)該注意什么？無錫超通智能告訴您。山東自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

主要性能參數(shù)產(chǎn)品型號CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺參數(shù)平臺形式XY直線電機(jī)基座高精度大理石平臺加工范圍400×400 mm（可定制）定位精度±3 um重復(fù)定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業(yè)相機(jī)600W鏡頭遠(yuǎn)心鏡頭系統(tǒng)屬性支持文件格式DXF等常規(guī)CAD格式環(huán)境要求溫度：20-30℃，濕度：<60%電力需求380V/50Hz/10KVA福建超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)質(zhì)量高。

激光劃片是利用高能激光束照射工件表面，使被照射區(qū)域局部熔化、氣化，從而達(dá)到去除材料，實現(xiàn)劃片的過程。激光劃片是非接觸式加工，無機(jī)械應(yīng)力損傷，加工方式靈活，不存在刀具損耗和水污染，設(shè)備使用維護(hù)成本低。為避免激光劃透晶圓時損傷支撐膜，采用耐高溫?zé)g的UV膜。目前，激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器，波長主要有1064nm、532nm、355nm三種，脈寬為納秒、皮秒和飛秒級。理論上，激光波長越短、脈寬越短，加工熱效應(yīng)越小，有利于微細(xì)精密加工，但成本相對較高。355nm的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應(yīng)小，應(yīng)用非常***。近幾年1064nm的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速，應(yīng)用到很多新領(lǐng)域，獲得了很好的效果。

近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長，硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向于輕薄化，傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用，于是在部分工序引入了激光隱形切割技術(shù)。半導(dǎo)體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝，具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無切割基材耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢。隱切切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間，在材料中間形成改質(zhì)層，然后通過外部施加壓力使芯片分開。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的廠家哪個好？無錫超通智能告訴您。

隨著芯片特征尺寸的不斷縮小和芯片集成度的不斷提高，為提高芯片速度和降低互聯(lián)電阻電容（RC）延遲，低電介常數(shù)（低k）膜及銅質(zhì)材料逐步應(yīng)用在高速電子元器件上。采用砂輪刀具切割低k 膜一個突出的問題是膜層脫落，通過使用無機(jī)械負(fù)荷的激光開槽，可抑制脫層，實現(xiàn)***加工并提高生產(chǎn)效率，激光開槽完成后，砂輪刀具沿開槽完成硅材料的全切割，此外，激光開槽也可用于去除硅晶圓表面的金屬層。當(dāng)切割道表面覆蓋金、銀等金屬層時，直接采用砂輪切割易造成卷邊缺陷，可行的方法是通過激光開槽去除切割道的金屬覆蓋層，再采用砂輪切割剩余的硅材料，邊緣整齊，芯片質(zhì)量***提升。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備如何選擇？無錫超通智能告訴您。北京自動化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價錢

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晶圓激光切割與傳統(tǒng)的機(jī)械切割法相比，這種新的方法有幾個重要的優(yōu)點。首先，這是一步即可完成的、干燥的加工過程。邊緣光滑整齊，不需要后續(xù)的清潔和打磨。并且，激光引致的分離過程產(chǎn)生**度、自然回火的邊緣，沒有微小裂痕。使用這種方法，避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破，降低了次品率，提高了產(chǎn)量。因為裂痕是**地沿著激光光束所劃出的痕跡，激光引致的分離可以切劃出非常**的曲線圖案。我們所做的實驗也證明了無論直線或是曲線，激光切割都能連續(xù)地、**地完成設(shè)定圖案，重復(fù)性可達(dá)＋50μm。所以激光可以進(jìn)行曲線圖形的**切割。激光切割晶圓有速度快、精度高，定位準(zhǔn)確等明顯優(yōu)勢。山東自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

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