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發(fā)布時(shí)間:2024-07-31
氧化鋁薄膜是一種重要的功能薄膜材料,由于具有較高的介電常數(shù)、高熱導(dǎo)率、抗輻照損傷能力強(qiáng)、抗堿離子滲透能力強(qiáng)以及在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)透明等諸多優(yōu)異的物理、化學(xué)性能,使其在微電子器件、電致發(fā)光器件、光波導(dǎo)器件以及抗腐蝕涂層等眾多領(lǐng)域有著廣的應(yīng)用。磁控濺射具有濺射鍍膜速度快,膜層致密,附著性好等特點(diǎn),上海智能玻璃陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè),很適合于大批量,高效率工業(yè)生產(chǎn)等明顯優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用日趨廣,成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中主要的技術(shù)之一。濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電場(chǎng)的作用下,對(duì)陰極靶材表面進(jìn)行轟擊,把靶材表面的分子、原子、離子及電子等濺射出來(lái),被濺射出來(lái)的粒子帶有一定的動(dòng)能,沿一定的方向射向基體表面,在基體表面形成鍍層。用這種技術(shù)制備氧化鋁膜時(shí)一般都以純鋁為靶材,濺射用的惰性氣體通常選擇氬氣(Ar),因?yàn)樗臑R射率比較高。用氬離子轟擊鋁靶并通入氧氣,上海智能玻璃陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè),濺射出的鋁離子和電離得到的氧離子沉積到基片上從而得到氧化鋁膜。按磁控濺射中使用的離子源不同,磁控濺射方法有以下幾種:①直流反應(yīng)磁控濺射;②脈沖磁控濺射;③射頻磁控濺射;④微波-ECR等離子體增強(qiáng)磁控濺射;⑤交流反應(yīng)磁控濺射等,上海智能玻璃陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)。ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近60%。上海智能玻璃陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)
陶瓷靶材的制備工藝烘料:稱(chēng)量前將起始原料置于烘箱中烘料3~6小時(shí),烘料溫度為100~120℃;配料:將烘干的原料按照相應(yīng)的化學(xué)計(jì)量比稱(chēng)量;球磨:將稱(chēng)量好的原料以某種制備方式混料,混料時(shí)間為4~12小時(shí),制成均勻漿料;干燥:將制得的均勻漿料烘干;煅燒:將烘干的粉料過(guò)篩并輕壓成塊狀坯體置于馬弗爐中,在800~950℃煅燒4~8小時(shí),制成煅燒粉料;球磨:將煅燒后的粉料研磨成細(xì)粉,再次球磨、烘干得到陶瓷粉料;制坯:將制成的陶瓷粉料采用鋼模手壓成直徑5~20mm、厚度約0.5~1.2mm的樣片,將樣片放入冷等靜壓機(jī)中,施加200~350MPa的壓力,保壓60~180s,制成所得陶瓷坯體;燒結(jié):將制成的陶瓷坯體置于馬弗爐中,在1100~1200℃燒結(jié)4~6小時(shí);冷卻:自然冷卻至室溫,即制得某種陶瓷靶材.注:提供的溫度、時(shí)間只當(dāng)做參考數(shù)據(jù).陶瓷靶材的特性要求純度:陶瓷靶材的純度對(duì)濺射薄膜的性能影響很大,純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產(chǎn)品的質(zhì)量的一致性越好.密度:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度.成分與結(jié)構(gòu)均勻性:為保證濺射薄膜均勻,尤其在復(fù)雜的大面積鍍膜應(yīng)用中,必須做到靶材成分與結(jié)構(gòu)均勻性好.寧夏濺射陶瓷靶材價(jià)錢(qián)濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高。
薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)是當(dāng)前的主流平面顯示技術(shù)。薄膜晶體管陣列的制作原理,是在真空條件下,利用離子束流去轟擊固體,使固體表面的原子電離后沉積在玻璃基板上,經(jīng)過(guò)反復(fù)多次的“沉積+刻蝕”,一層層(一般為7-12層)地堆積制作出薄膜晶體管陣列。這種被轟擊的固體,即用濺射法沉積薄膜的原材料,就被稱(chēng)作濺射靶材。除LCD外,近年來(lái)快速發(fā)展的OLED面板產(chǎn)業(yè)靶材需求增長(zhǎng)也十分明顯。OLED典型結(jié)構(gòu)是在氧化銦錫(ITO)玻璃上制作一層幾十納米厚的發(fā)光材料,ITO透明電極作為器件的陽(yáng)極,鉬或者合金材料作為器件的陰極。平板顯示制造中主要使用的靶材為鉬鋁銅金屬靶材和氧化銦錫(ITO)靶材。目前國(guó)內(nèi)單條8.5代線(xiàn)ITO靶材年需求量約40噸,6代線(xiàn)ITO靶材年需求量約20噸。
江蘇迪納科精細(xì)材料股份有限公司是一家主要生產(chǎn)和銷(xiāo)售陶瓷,金屬,合金等各類(lèi)型靶材。陶瓷靶材以氧化銦基和氧化鋅基為主,金屬和合金靶材以各種熔煉工藝和擠壓鍛造工藝為主。
ITO靶材應(yīng)用領(lǐng)域
1、平板顯示器(純度4N)在平板顯示領(lǐng)域,ITO靶材主要用于制作ITO導(dǎo)電玻璃及觸控屏電極平板,是LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類(lèi)平板顯示器件制備的主要材料。顯示面板一般涉及上下兩層ITO導(dǎo)電膜,用量較大,ITO靶材是平板顯示領(lǐng)域用量比較大的靶材之一。
2、薄膜太陽(yáng)能電池(純度4N)ITO是一種透明導(dǎo)電層,在太陽(yáng)能電池中作為透光層,同時(shí)作為電極,一般為正極,另一個(gè)電極一般以金屬銀或鋁作為背電極使用。ITO靶材主要用于生成太陽(yáng)能薄膜電池的背電極。
3、保溫透光領(lǐng)域ITO透明導(dǎo)電膜玻璃作為發(fā)熱體,通電后可以除冰霜,用于飛機(jī)擋風(fēng)玻璃、飛機(jī)防眩窗、激光測(cè)距儀、潛望鏡觀(guān)察窗等多年來(lái)已得到了大規(guī)模的應(yīng)用。ITO透明導(dǎo)電膜玻璃正反面具有相反的紅外線(xiàn)通過(guò)及反射性能,玻璃正面具有優(yōu)良的紅外線(xiàn)通性,衰減量極小,而反面又具有紅外線(xiàn)阻擋反射作用,因而該種玻璃具有優(yōu)良的保溫透光性能,已大量用于制造冷藏柜,隨著成本的降低將有望用于房屋節(jié)能。
目前制備太陽(yáng)能電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等。
鈣鈦礦太陽(yáng)電池在短短數(shù)十年間不斷刷新轉(zhuǎn)換效率;谡玫拟}鈦礦太陽(yáng)電池面臨著眾多問(wèn)題,如遲滯較大,光熱穩(wěn)定性差等,相較之下倒置結(jié)構(gòu)可以較好的解決上述問(wèn)題。倒置結(jié)構(gòu)中空穴傳輸層主要有氧化鎳(NiOx)、聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT:PSS)、聚[雙(4-苯基)(2,4,6-三甲基苯基)胺](PTAA)等幾種,但是PEDOT:PSS,PTAA等空穴傳輸層并不穩(wěn)定且成本較高,考慮到未來(lái)大面積生產(chǎn)所需,目前只有NiOx較為適合。現(xiàn)有的NiOx制備工藝以納米晶溶液旋涂、化學(xué)浴沉積、原子層沉積、化學(xué)氣相沉積等為主。目前合適的大面積制備技術(shù)以化學(xué)氣相沉積為主,其中磁控濺射制備可重復(fù)性高且較為均勻,F(xiàn)有的技術(shù)手段中,常在氧化鎳基板中添加單獨(dú)的堿金屬元素或者過(guò)渡金屬,用以提升氧化鎳空穴傳輸層的空穴傳輸能力。超大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中要反復(fù)用到的濺射工藝屬于PVD技術(shù)的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之一。中國(guó)香港濺射陶瓷靶材推薦廠(chǎng)家
氧化鈮由于其獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)而被廣地應(yīng)用于現(xiàn)代技術(shù)的許多領(lǐng)域。上海智能玻璃陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)
陶瓷靶材和金屬靶材各自?xún)?yōu)缺點(diǎn):1.導(dǎo)電性:金屬靶材都具有導(dǎo)電性,可以適應(yīng)各種不同電源類(lèi)型機(jī)臺(tái),而陶瓷靶材因?yàn)榇蟛糠植痪邆鋵?dǎo)電性,只能使用射頻電源. 2.導(dǎo)熱性:金屬靶材導(dǎo)熱性能好,濺射時(shí)可以大功率運(yùn)行.陶瓷靶材導(dǎo)熱性較差,濺射時(shí)功率不宜過(guò)高.復(fù)合性:3. 金屬靶材內(nèi)很難摻入其他陶瓷類(lèi)物質(zhì),濺射后膜層功能比較單一.陶瓷靶材可以根據(jù)需要摻入不同金屬及陶瓷類(lèi)物質(zhì),濺射后可以形成多種物質(zhì)組成的復(fù)合膜層,這點(diǎn)陶瓷靶材比金屬靶材占優(yōu).上海智能玻璃陶瓷靶材生產(chǎn)企業(yè)
江蘇迪納科精細(xì)材料股份有限公司正式組建于2011-07-22,將通過(guò)提供以濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。迪納科材料經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)遍布國(guó)內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),業(yè)務(wù)布局涵蓋濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等板塊。我們?cè)诎l(fā)展業(yè)務(wù)的同時(shí),進(jìn)一步推動(dòng)了品牌價(jià)值完善。隨著業(yè)務(wù)能力的增長(zhǎng),以及品牌價(jià)值的提升,也逐漸形成電子元器件綜合一體化能力。值得一提的是,迪納科材料致力于為用戶(hù)帶去更為定向、專(zhuān)業(yè)的電子元器件一體化解決方案,在有效降低用戶(hù)成本的同時(shí),更能憑借科學(xué)的技術(shù)讓用戶(hù)極大限度地挖掘迪納科,迪丞,東玖,靶材的應(yīng)用潛能。