潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、現(xiàn)代技術密切聯(lián)系在一起。湖北電子廠房環(huán)境檢測認真負責
4.3.2人員凈化用室和生活用室的設置應符合下列規(guī)定:1應設置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設計應符合下列規(guī)定:1人員凈化用室的入口處應設凈鞋措施。2存外衣、更換潔凈工作服的房間應分別設置。3外衣存衣柜應按設計人數(shù)每人設一柜,潔凈工作服宜集中掛人帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。4盥洗室應設洗手和烘干設施。5空氣吹淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處,并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按比較大班人數(shù)每30人設一臺。潔凈區(qū)工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設旁通門。6嚴于5級的垂直單向流潔凈室宜設氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應設前室。江蘇實驗室環(huán)境檢測值得推薦溫濕度波動范圍的控制對于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關重要。
潔凈室竣工驗收的外觀檢查應符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調設備空調器、風機、凈化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應正確、牢固、嚴密其偏差應符合有關規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。3、各類調節(jié)裝置應嚴密、調節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調箱、靜壓箱、風管系統(tǒng)及送、回風口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應嚴密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應符合有關規(guī)定。
(1)凈化處理原則:能用局部凈化的場合,就盡可能不用凈化;或低級別的凈化高級別的局部凈化相結合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間,這樣做雖然有利于控制污染,但這也造成平面復雜化、增加造價、作業(yè)程序不易改變、人員流動不方便,以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性,潔凈室的微粒實際上是不均勻分布的,較為典型的三區(qū)不均勻分布模型,即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風管上風段,上風段相對來說,潔凈程度比下風段要好表2為某10萬級潔凈車間內(nèi)沿一條送風管走向設置的六個測點檢測結果(空態(tài)下),測點l~6由上風段依次向下,可以看出,各點塵粒數(shù)有較大區(qū)別當然,其中也有送風管上各送風口風量沒有較好調節(jié)的原因,但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除。
1工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應只布置必要的工藝設備,以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調節(jié)機房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴格的工序應布置在上風側,易產(chǎn)生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。4應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線,并預留設備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時,宜設有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應設置單獨的物料入口,物料傳遞路線應極短,物料進人潔凈室(區(qū))之前應進行清潔處***懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。山東電子廠房環(huán)境檢測技術好
采用智能化管理系統(tǒng),提高潔凈室檢測數(shù)據(jù)的管理效率。湖北電子廠房環(huán)境檢測認真負責
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù),是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數(shù),記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風量除以法凈室的容積求得湖北電子廠房環(huán)境檢測認真負責