芯片研發(fā)制造過程鏈條漫長，很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進(jìn)行精密檢測以確保良率，降低生產(chǎn)成本。提高制造控制工藝，并通過不斷研發(fā)迭代和測試，才能制造性能更優(yōu)異的芯片，走向市場并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小，在溫度循環(huán)下的應(yīng)力，傳統(tǒng)測試方法難以獲??；高精度三維顯微應(yīng)變測量技術(shù)的發(fā)展，打破了原先在微觀尺寸測量領(lǐng)域的限制，特別是在半導(dǎo)體材料、芯片結(jié)構(gòu)變化細(xì)微的測量條件下，三維應(yīng)變測量技術(shù)分析尤為重要。 典型的DIC測量系統(tǒng)一般由CCD攝像機(jī)、照明光源、圖像采集卡及計算機(jī)組成。云南全場三維非接觸測量

    公路變形監(jiān)測是確保公路安全與維護(hù)的重要環(huán)節(jié)，但傳統(tǒng)的監(jiān)測方法在面對大范圍、復(fù)雜環(huán)境和高技術(shù)要求時，往往顯得力不從心。幸運(yùn)的是，隨著科技的進(jìn)步，我們現(xiàn)在有了GNSS技術(shù)這一強(qiáng)大的工具來應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。GNSS，即全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng)，它通過接收來自多顆衛(wèi)星的信號進(jìn)行高精度定位。與傳統(tǒng)的監(jiān)測方法相比，GNSS技術(shù)具有明顯的優(yōu)勢。它不需要通視，能夠24小時不間斷地工作，并且在很大程度上節(jié)省了人力，提高了監(jiān)測的自動化水平。研究表明，在水平位移觀測中，GNSS技術(shù)能夠精確到2厘米以內(nèi)的位移矢量。這意味著即使是微小的公路變形也難逃其“法眼”。這種高精度的監(jiān)測能力為公路維護(hù)和管理提供了寶貴的數(shù)據(jù)支持，有助于及時發(fā)現(xiàn)問題并采取相應(yīng)的措施。此外，在高程測量方面，GNSS技術(shù)同樣表現(xiàn)出色，其精度可以控制在10厘米以內(nèi)。這一精度水平完全滿足公路監(jiān)測的要求，進(jìn)一步證實了GNSS技術(shù)在公路監(jiān)測領(lǐng)域的應(yīng)用價值?？傊珿NSS技術(shù)以其高精度、高自動化和全天候工作的特點，為公路變形監(jiān)測帶來了改變性的變革。它不只提高了監(jiān)測效率，而且為公路的安全和維護(hù)提供了更為可靠的技術(shù)保障。 貴州三維全場數(shù)字圖像相關(guān)測量系統(tǒng)光學(xué)應(yīng)變技術(shù)不受環(huán)境、電磁干擾影響，提供可靠、穩(wěn)定的應(yīng)變測量結(jié)果。

    金屬應(yīng)變計是一種用于測量物體應(yīng)變的裝置，其實際應(yīng)變計因子可以從傳感器制造商或相關(guān)文檔中獲取，通常約為2。由于應(yīng)變測量通常很小，只有幾個毫應(yīng)變（10?3），因此需要精確測量電阻的微小變化。例如，當(dāng)測試樣本的實際應(yīng)變?yōu)?00毫應(yīng)變時，應(yīng)變計因子為2的應(yīng)變計可以檢測到電阻變化為2(50010??)=。對于120Ω的應(yīng)變計，變化值只為Ω。為了測量如此小的電阻變化，應(yīng)變計采用基于惠斯通電橋的配置概念。惠斯通電橋由四個相互連接的電阻臂和激勵電壓VEX組成。當(dāng)應(yīng)變計與被測物體一起安裝在電橋的一個臂上時，應(yīng)變計的電阻值會隨著應(yīng)變的變化而發(fā)生微小的變化。這個微小的變化會導(dǎo)致電橋的電壓輸出發(fā)生變化，從而可以通過測量輸出電壓的變化來計算應(yīng)變的大小。除了傳統(tǒng)的應(yīng)變測量方法外，光學(xué)非接觸應(yīng)變測量技術(shù)也越來越受到關(guān)注。這種技術(shù)利用光學(xué)原理來測量材料的應(yīng)變，具有非接觸、高精度和高靈敏度等優(yōu)點。它能夠通常使用光纖光柵傳感器或激光干涉儀等設(shè)備來測量材料表面的位移或形變，從而間接計算出應(yīng)變的大小。這種新興的測量技術(shù)為應(yīng)變測量帶來了新的可能性，并在許多領(lǐng)域中得到了普遍應(yīng)用。

電子散斑干涉技術(shù)特點：技術(shù)優(yōu)勢納米級位移靈敏度全場實時測量能力對振動不敏感可測微小變形系統(tǒng)配置要點激光光源穩(wěn)定性<0.5%防振光學(xué)平臺相移裝置精度λ/100溫控環(huán)境建議±1℃典型應(yīng)用場景微電子器件熱變形MEMS器件測試薄膜殘余應(yīng)力分析微納尺度力學(xué)行為，系統(tǒng)集成解決方案與力學(xué)測試設(shè)備聯(lián)用原位加載系統(tǒng)同步控制多物理場數(shù)據(jù)融合實時應(yīng)變反饋系統(tǒng)異構(gòu)圖譜數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)特殊環(huán)境集成(1)高溫環(huán)境：耐高溫鏡頭保護(hù)熱輻射校正算法藍(lán)光照明方案(2)真空環(huán)境：光學(xué)窗口長距顯微配置防污染設(shè)計(3)液體環(huán)境：防水觀測窗折射率補(bǔ)償懸浮粒子示蹤。三維應(yīng)變測量技術(shù)通過測量物體表面上的位移或形變信息，可以推斷出物體在空間中各個方向上的應(yīng)變狀態(tài)。

    在橋梁靜動載試驗時，如何減小應(yīng)變測試中的各種干擾因素，提高檢測效率和測量數(shù)據(jù)的可信度，是長期以來工程師們一直在苦苦探索的問題。經(jīng)過多年的技術(shù)攻關(guān)，終于研發(fā)成功了一種可裝配式多用途應(yīng)變測量傳感器，成功地應(yīng)用在了多座橋梁的靜動載試驗中，有效解決了橋梁靜動載試驗中應(yīng)變測量時遇到的一系列問題，特別是惡劣環(huán)境下的應(yīng)變測試問題。應(yīng)變片由兩個相同的敏感柵重疊配置，可以抵消所產(chǎn)生的電磁感應(yīng)噪聲。導(dǎo)線采用絞合線，同樣可以抵消感應(yīng)噪聲，因此該應(yīng)變片不易受交變磁場的影響。 三維應(yīng)變測量技術(shù)采用可移動式非接觸測量頭，可以方便地整合應(yīng)用到靜態(tài)、動態(tài)、高速和高溫等測量環(huán)境中。福建三維全場數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)應(yīng)變測量系統(tǒng)

數(shù)字圖像相關(guān)法（DIC）：通過捕捉物體表面的圖像，并利用圖像處理算法計算物體表面的位移和應(yīng)變情況。云南全場三維非接觸測量

   對鋼材性能的應(yīng)變測量主要是檢查裂紋、孔、夾渣等，對焊縫主要是檢查夾渣、氣泡、咬邊、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸不夠等，對鉚釘或螺栓主要是檢查漏焊、漏檢、錯位、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸等。檢驗方法主要有外觀檢驗、X射線、超聲波、磁粉、滲透性等。超聲波在金屬材料測量中對頻率要求高，功率不需要過大，因此測量靈敏度高，測試精度高。超聲測量一般采用縱波測量和橫波測量（主要用來測量焊縫）。用超聲來檢查鋼結(jié)構(gòu)時，要求測量點的平整度、光滑。云南全場三維非接觸測量