高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用***用于平坦，無孔表面的工作平臺。使用者通常是機(jī)器操作員。在金屬加工領(lǐng)域，這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化搬運(yùn)、對象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進(jìn)行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具，應(yīng)用于減薄、劃片、清洗、搬運(yùn)等工序。Fountyl公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產(chǎn)的設(shè)備配套使用，具有優(yōu)越的性能價格比。 微孔陶瓷真空吸盤的著眼點(diǎn)及產(chǎn)品特點(diǎn).深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

2、濕氫法

濕氫法是將Al 粉置于Al2O3中，在適當(dāng)?shù)奈恢梅湃雴尉l2O3以誘導(dǎo)陶瓷生長，放入管式爐內(nèi)，在濕氫氣氛下加熱至1400℃，保持2h，濕氫**控制為-30℃。通過控制氫氣**起到對其中水蒸氣含量的控制，制備得到的氧化鋁陶瓷。

濕氫法優(yōu)點(diǎn)是氧化鋁陶瓷以螺旋位錯機(jī)理生長，產(chǎn)品品質(zhì)較好。缺點(diǎn)是**不易控制，受環(huán)境濕度因素干擾大，且對實驗設(shè)備影響很大。

3、模板法

目前，研究報道模板法主要是采用棉花纖維和碳納米管為模板，制備氧化鋁陶瓷。主要工藝過程是首先將棉花纖維浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入剛玉坩鍋置于烘箱中分別在 800℃、1000℃和1200℃下燒制2h，即得到多晶的氧化鋁陶瓷陶瓷。 深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具.

2、干壓成型

對形狀簡單、適于干壓成型的中小型氧化鋯陶瓷產(chǎn)品常采用干壓方法成型。氧化鋯 陶瓷干壓時出現(xiàn)的常見問題是產(chǎn)品分層，這是因為氧化鋯超細(xì)粉造粒料的顆粒很細(xì)，因而顆粒輕、流動性差，干壓成型時容易出現(xiàn)分層現(xiàn)象。從生產(chǎn)實踐中得知，產(chǎn)品分層與成型模具的光潔度和配合情況、成型壓力、加壓方式、加壓速度和保壓時間、脫模方式、脫模速度均有關(guān)系，下面就上述幾方面因素對干壓成型的影響分述如下：

A、模具的光潔度和配合情況

干壓成型對模具質(zhì)量要求較高，首先要求模具硬度達(dá)到一定的要求。由于氧化鋯穩(wěn)定料的顆粒很細(xì)，流動性差，因而對模具的光潔度要求很高，若光潔度達(dá)不到要求，則干壓時影響料的流動，從而導(dǎo)致分層的出現(xiàn)。同時，若模具配合不好，間隙大，則由于氧化鋯 粉料顆粒細(xì)，壓制時粉料會從模具間隙中流出，從而造成模具四周的粉料少，這樣壓制時四周就不能壓實，從而會因壓力傳遞不一致而出現(xiàn)分層，故對模具的配合要求較高。

2、工業(yè)高溫窯爐

氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機(jī)械振動等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐，陶瓷燒成窯，石油化工中的裂解爐、燃燒爐等的隔熱爐襯材料。

氧化鋁陶瓷應(yīng)用于固體火箭發(fā)動機(jī)噴管，使噴管設(shè)計**簡化，部件數(shù)量減少50%，質(zhì)量減輕50%。也可應(yīng)用于航天飛機(jī)的隔熱材料，美國“哥倫比亞”號航天飛機(jī)隔熱板襯墊用的是Saffil氧化鋁陶瓷，能經(jīng)受1600 ℃的高溫。

4、陶瓷基復(fù)合材料

采用**度、高彈性的氧化鋁陶瓷與陶瓷基體復(fù)合技術(shù)，能制備韌性優(yōu)良的陶瓷基復(fù)合材料，可明顯提高陶瓷產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平，帶動高技術(shù)陶瓷產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。 Fountyl微孔陶瓷正空吸盤，孔大小在30微米到60微米的范圍.

    （1）晶粒大小。品粒越細(xì)，晶界面積越大，產(chǎn)生塑性變形就越大。（2）溫度。在壓力恒定下，應(yīng)變速率隨著溫度提高而增加。（3）應(yīng)變速率大小。尤其在位伸變形時，較低的應(yīng)變速率可獲大于200%的拉伸變形，因為應(yīng)變速率過大，在晶界處易形成空洞等，以致造成過早的斷裂。（4）空洞大小。要保持較低的應(yīng)變速率，以***空洞的生成。目前，超塑性氧化鋯陶瓷主要用于發(fā)動機(jī)中活塞環(huán)，隨著研究的深入，其應(yīng)用前景是廣闊的。氧化鋯材料高溫下具有導(dǎo)電性其晶體結(jié)構(gòu)存在氧離子缺位的特性，可制成各種功能元件。 微孔陶瓷真空吸盤的結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，易于安裝和更換。深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

適用多種不同工件提供各種不同形狀,尺寸和材料的吸盤.深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】

[0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非?？?，因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機(jī)，目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設(shè)備，在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓劃片機(jī)的工作臺壽命較短，由于其結(jié)構(gòu)的不合理通常I?6個月即會變形，在生產(chǎn)過程中，隨溫度變化也會變形加快。

【實用新型內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于，提供一種微孔真空吸盤工作臺，它能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)更合理，使用壽命更長的工作臺。 深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

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